STZ400H半導體四探針測試儀是面向材料電學性能分析領域研發的專業測量設備,適用于半導體晶圓、薄膜材料、導電涂層等多種場景的電阻率與方阻檢測。該設備采用經典四探針法原理,通過優化探針排布結構與信號采集系統,顯著提升微弱信號檢測能力,可滿足高阻值材料的精準測量需求。
儀器搭載智能化測量模塊,支持0.1mΩ·cm至100MΩ·cm寬范圍電阻率測量,最小分辨率達0.01%。自主研發的多級濾波技術有效抑制環境干擾,配合三點校準功能,確保不同量程下的測量一致性。測試平臺采用模塊化設計,適配2-8英寸晶圓片及各類異形樣品,氣動升降機構配合激光定位系統實現探針與樣品的自動對位,避免人工操作帶來的測量偏差。
STZ400H配置7英寸觸摸屏操作界面,內置多組預設測試方案,用戶可通過可視化界面快速完成參數設置。數據管理系統支持實時曲線顯示與歷史記錄查詢,配備USB/RS232雙接口實現測量數據導出。設備采用分體式結構設計,主機與測試平臺分離布局,有效降低機械振動對測量結果的影響。溫控補償功能可自動修正環境溫度波動帶來的數據偏差,保障實驗室環境與生產現場不同工況下的測量穩定性。
該產品適用于半導體材料研發、光伏電池片生產、金屬鍍層質檢等場景,特別在新型半導體材料開發過程中,可提供重復性優于0.5%的穩定測試數據。人性化的安全防護設計包含過載保護、誤操作提示、緊急制動等多重防護機制,測試架絕緣強度滿足高壓測試需求。通過持續優化探針材料和接觸算法,探針使用壽命較傳統設計提升50%以上,有效降低設備維護成本。