CI白光干涉表面輪廓儀是一款基于光學干涉原理的高精度表面形貌測量設備，廣泛應用于精密加工、光學元件、半導體材料及微納結構等領域的三維形貌分析。該儀器通過非接觸式測量方式，能夠快速獲取樣品表面的微觀輪廓信息，為工業生產和科研檢測提供關鍵數據支持。
儀器采用白光垂直掃描干涉技術（VSI），結合高穩定性光學系統和精密位移控制模塊，可在納米級分辨率下實現亞埃級縱向測量精度。其寬視場成像功能支持毫米級區域的全場掃描，同時具備局部微區的高倍率精細觀測能力，可適配不同尺寸和材質的樣品測量需求。配備智能分析軟件，可自動生成表面粗糙度、臺階高度、波紋度等二十余項特征參數，并提供三維形貌重構、二維截面分析等多種可視化呈現模式。
在功能拓展方面，設備支持多模塊組合配置，可根據用戶需求集成環境隔離系統、自動對焦模塊或高溫樣品臺等專用附件。人性化的操作界面設計降低了使用門檻，即使非專業人員也能快速完成測量流程。針對特殊樣品表面，系統提供多種濾波算法和誤差補償方案，有效消除環境振動、雜散光等干擾因素對測量結果的影響。
該產品在精密光學元件檢測、MEMS器件表征、超光滑表面加工等領域具有突出優勢，其測量數據可追溯至國際公認計量標準，為產品質量控制、工藝優化及失效分析提供可靠依據。通過模塊化設計實現功能靈活擴展，滿足科研機構、檢測實驗室和工業生產線的多元化需求。
