PS-6/PS-6N半導體特氣檢測探頭
PS-6/PS-6N半導體特氣檢測探頭是一款針對半導體制造、電子元器件生產及高精度工業環境中特殊氣體監測需求而設計的專用檢測設備。該產品通過實時監測環境中特定氣體的濃度變化，為工藝安全與環境控制提供數據支持，適用于對氣體泄漏、異常揮發等場景的快速響應。
在技術實現方面，該檢測探頭采用模塊化設計理念，可適配多種氣體傳感器單元，能夠根據用戶需求靈活配置檢測參數。其核心檢測模塊通過優化氣體擴散路徑與信號處理算法，提升了低濃度氣體檢測的靈敏度與數據穩定性，同時對溫濕度波動、電磁干擾等復雜工況具備較強的環境適應性。設備內置自檢與狀態反饋功能，可實時監測探頭運行狀態，便于及時發現潛在異常。
PS-6/PS-6N系列產品在結構設計上充分考慮工業場景的實用性，防護外殼采用耐腐蝕材質并達到IP65防護等級，適用于潔凈車間、特種氣體間等嚴苛環境。緊湊型探頭設計支持壁掛、管道嵌入等多種安裝方式，配合標準信號輸出接口，可與主流工業控制系統實現無縫對接。為滿足不同場景的檢測需求，產品提供PS-6（基礎型）與PS-6N（增強型）兩種版本，后者在響應速度與抗交叉干擾能力方面進行了針對性優化。
該檢測設備主要應用于半導體晶圓制造中的特氣柜監測、光伏電池片生產工藝氣體控制、精密電子元件封裝車間的環境安全保障等領域。設備維護周期可根據實際使用環境靈活調整，建議定期進行校準與功能驗證以確保檢測精度。廠家提供專業技術支持團隊，可協助用戶完成設備選型、系統集成及維護指導等全流程服務。
作為工業氣體安全監測體系的重要組成部分，PS-6/PS-6N系列產品通過持續的技術迭代與工藝改進，致力于為高端制造業客戶提供可靠的氣體泄漏預防解決方案，助力企業構建更完善的安全生產環境。
PS-6/PS-6N半導體特氣檢測探頭
的詳細介紹
PS-6/PS-6N半導體特氣檢測探頭
半導體特氣檢測探頭PS-6/PS-6N
半導體特氣檢測探頭PS-6/PS-6N特點：
¬ 泵吸式探頭，可安裝在各種場合。
¬ 卡式傳感器，安裝、更換極為方便。
¬ 更換不同的傳感器可檢測不同的氣體。
¬ 不需要在設置現場進行標定
¬ 輸出4～20mA的標準信號，可接入各種測量系統，亦可連接在已設置的 裝置中。
規格：
| 型 號 |
PS-6 |
PS-6N |
| 檢 測 原 理 |
定電位電解式、熱線型半導體式、隔膜Galvanic電池式
|
熱分解、定電位電解式 |
| 采 樣 方 式 |
泵吸引式（0.5L/min） |
| 采 樣 管 道 |
特富龍外徑6/內徑4mm，配管距離20m以內，但吸附性強的氣體最大配管距離為5m. |
| 輸 出 信 號 |
4～20mA（包括負荷電阻、電纜電阻要300Ω以下）與電源的負端公用 |
| 故 障 輸 出 |
流量低時,開路集電極OFF |
| 適 合 電 纜 |
CVVS 3芯或4芯(使用氣流故障信號時) |
| 電 源 |
DC24V±10% |
| 消 耗 電 力 |
10W |
15W |
| 尺 寸 |
W73×H198×D140（mm）
（突起部分除外）
|
另有過濾部 |
| 重 量 |
約2.5kg |
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